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Dem Hoch- beziehungsweise Ultrahochvakuum ausgesetzte Flächen (Innenwände der Kammer, Auskleidungen, Einbauten) geben beim Abpumpen an ihnen adsorbierte Gase und Wasser an das Vakuum ab, was zum Teil erhebliche Pumpzeiten zur Folge hat. Zur Verkürzung der Pumpzeiten eignet sich (neben dem Ausheizen) vor allem Elektropolieren der in Frage kommenden Flächen. Wegen der vorliegenden Problematik wird der Polierprozess so gewählt, dass Kavernen im Material und in der Oberfläche eingewalzte Taschen geöffnet und freigelegt werden. Die Ausgasungszeiten werden so drastisch verringert. Ebenfalls wird die Reinigungsfaehigkeit der Flächen verbessert. Ganze Kammern mit ihren angeschweissten Stutzen, z.B. Anlagen zur Oberflächenanalyse, werden mit angepassten Elektroden versehen und elektropoliert.